檢查真空機(jī)組各部件是否正確接駁，閥門位置是否正確，確保電器控制系統(tǒng)、熱電偶、壓力表、溫度計(jì)等儀表工作正常。
　　啟動(dòng)真空泵和控制系統(tǒng)，檢查真空機(jī)組及其控制系統(tǒng)是否工作正常，包括真空度和排氣量等指標(biāo)。確認(rèn)管道、接頭等無(wú)漏氣現(xiàn)象，電磁閥正常通電，可調(diào)節(jié)氧分壓器等處于啟動(dòng)狀態(tài)。

　　啟動(dòng)輔助泵，在主泵達(dá)到一定真空度后，開啟輔泵，以輔助主泵抽取空氣，提高真空度。真空機(jī)組在主泵和輔泵運(yùn)行穩(wěn)定后，逐步提高真空度，可能需要啟動(dòng)罐泵以提供供氣源。

　　在啟動(dòng)過程中，監(jiān)測(cè)各項(xiàng)參數(shù)，如真空度、冷卻水流量、儀表顯示等，確保系統(tǒng)正常運(yùn)行。真空機(jī)組啟動(dòng)后，進(jìn)行必要的運(yùn)行時(shí)間，并定期進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，以確保設(shè)備性能和壽命。
　　需要注意的是，具體的啟動(dòng)順序可能因真空機(jī)組類型和制造商的指導(dǎo)而有所不同，因此建議遵循機(jī)組操作手冊(cè)的指示進(jìn)行操作。